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超廉價 手機專用單鏡片掃描投影問世
   中國投影網(wǎng)資訊     [2006-2-10 10:48:55]      編輯:姻姻
　　日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所開發(fā)出了一種可低成本實現(xiàn)高清投影機的新技術(shù)，通過以二維方式掃描單鏡片，可顯示高清圖像。并在日前召開的“MEMS 2006”會議上進行了技術(shù)發(fā)表。用于掃描激光的鏡片驅(qū)動元件采用金屬沖壓技術(shù)而不是MEMS技術(shù)。

　　單鏡片方式掃描顯示器能夠以較低的成本和較小的尺寸實現(xiàn)大屏幕顯示。比如，嵌入手機的投影機和筆型投影機等產(chǎn)品的實現(xiàn)將成為可能。為此，眾多企業(yè)和研究機構(gòu)都在進行開發(fā)。

單鏡片方式掃描技術(shù)


　　此次的技術(shù)利用尺寸約為4mm×8mm、厚度約30～50μm的不銹鋼（SUS304）形成鏡片驅(qū)動部。通過在這個部分形成PZT，即可實現(xiàn)基于壓電元件的致動器。可通過施加給致動器的電壓控制這種不銹鋼板起伏波動。并利用這種運動掃描鏡片（1mm×0.3～1mm）。

　　據(jù)負責此次開發(fā)工作的產(chǎn)綜研尖端制造工藝研究部門集成加工研究小組稱，這項技術(shù)具有兩個特點：（1）利用金屬實現(xiàn)驅(qū)動部；（2）利用ADM實現(xiàn)PZT膜。由此就實現(xiàn)了低成本、高速驅(qū)動。

　　通過（1）利用不銹鋼實現(xiàn)驅(qū)動部，能夠得到數(shù)十kHz的共振頻率，從而就能進行高速掃描。要想顯示高清圖像，必須以36kHz的頻率進行掃描。而此次開發(fā)的技術(shù)現(xiàn)已確證能夠以50kHz的頻率進行掃描。這是靠金屬沖壓加工實現(xiàn)的，與利用MEMS技術(shù)進行硅加工相比，能夠降低成本。

　　（2）PZT膜的形成采用了ADM（aerosol deposition method，氣膠成長法）技術(shù)。與基于普通MEMS工藝的薄膜形成技術(shù)相比，能夠減少工序、降低成本。



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文章來源:日經(jīng)BP社
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